下面來(lái)看看X射線(xiàn)熒光光譜儀的組成結構：

　　1、探測器

　　依分辨率高低檔次由低至高常用的探測器有NaI晶體閃爍計數器，充氣(He，Ne，Ar，Kr，Xe等)正比計數管器、HgI2晶體的探測器、半導體致冷SiPIN探測器、高純硅晶體的探測器、高純鍺晶體的探測器、電致冷或著(zhù)液氮致冷Si(Li)鋰漂移硅晶體的探測器、Ge(Li)鋰漂移鍺探測器等。

　　目前常用的是電致冷或液氮致冷Si(Li)鋰漂移硅晶體的探測器、SiPIN探測器、高純的硅晶體探測器。探測器的性能主要體現在對熒光探測的檢出限、分辨率、探測能量范圍的大小等方面。所以你要儀器的檢出限好你就要看它了。

　　2、X光管

　　X光管是儀器的易損耗材。大多數XRF廠(chǎng)商奉行拿來(lái)主義，做的就是組裝貼個(gè)品牌的工作。其性能壽命和成本一般是5000小時(shí)合幾百美金。而高檔的X光管壽命一般在10年以上，成本當然也高達10多萬(wàn)人民幣；SiLi電制冷的，壽命同樣會(huì )在10年以上，成本至少15萬(wàn)人民幣。

　　3、處理器

　　分為數字脈沖處理器和模擬脈沖處理器兩種，前者在數據處理處理上速度好。全數字脈沖處理快線(xiàn)路處理，容許死時(shí)間高達60%?？刹杉笕萘坑嫈?，可減少采集時(shí)間先進(jìn)的數字與傳統的模擬是兩代處理器技術(shù)，技術(shù)水平一般差十年。模擬脈沖處理器一般信號處理模式，死時(shí)間僅容許30%。不能進(jìn)行高通量信號處理，為獲得大的計數必須延長(cháng)采集時(shí)間。

　　4、濾光片

　　濾光片多，可以有選擇的降低信噪比，對痕量分析十分有用。