近年來(lái)，X射線(xiàn)熒光光譜技術(shù)飛躍發(fā)展，在多項核心技術(shù)取得突破，一種高靈敏度的X射線(xiàn)熒光光譜儀應運而生，它也可以稱(chēng)為單波長(cháng)激發(fā)-能量色散X射線(xiàn)熒光光譜儀，采用微焦斑X射線(xiàn)管，依靠全聚焦型雙曲面彎晶將X射線(xiàn)管出射譜中靶材高強特征射線(xiàn)單色化取出并聚焦到被測樣品點(diǎn)，由于單色化入射，避免了由于X射線(xiàn)管出射譜中連續軔致輻射造成的背景干擾，從而大幅提升被測元素熒光射線(xiàn)的信噪比，同時(shí)采用高分辨率硅漂移探測器窗口接近樣品測試點(diǎn)，取得樣品中元素熒光射線(xiàn)的極大立體角，進(jìn)一步提升元素熒光入射到探測器的射線(xiàn)強度。

　　高靈敏度X射線(xiàn)熒光光譜儀原理：

　　X射線(xiàn)光管出射譜由靶材的特征X射線(xiàn)分立譜以及軔致輻射連續譜組成，這些射線(xiàn)入射到樣品中，激發(fā)樣品中元素特征X射線(xiàn)的同時(shí)，又會(huì )產(chǎn)生入射譜的康普頓散射和瑞利散射，探測器同樣會(huì )接收到這些散射背景，從而造成了連續背景信號的干擾，降低了元素檢測的峰背比，使樣品中微量或痕量元素難以被檢出。

　　X射線(xiàn)管出射譜由連續譜線(xiàn)和特征譜線(xiàn)組成，全聚焦型雙曲面彎晶僅衍射X射線(xiàn)光管出射譜中的高強度特征X射線(xiàn)，從而入射到樣品的X射線(xiàn)具有很好的單色性，因此從樣品出射的X射線(xiàn)除了樣品中的元素被激發(fā)產(chǎn)生的熒光X射線(xiàn)（線(xiàn)光譜）和單色入射線(xiàn)的瑞利散射和康普頓散射以外，不存在連續散射背景，從而保證待測元素特征線(xiàn)具有極低的背景干擾，被激發(fā)元素的熒光X射線(xiàn)用SDD（硅漂移探測器）檢測，得到高分辨和高靈敏度的測試結果。

　　高靈敏度X射線(xiàn)熒光光譜儀具備傳統光譜儀無(wú)損、快速、多元素同時(shí)分析等特點(diǎn)，同時(shí)又具備高靈敏度的特點(diǎn)，其將X射線(xiàn)熒光的應用領(lǐng)域不斷延伸，除了傳統X射線(xiàn)應用領(lǐng)域外，新的領(lǐng)域成為高靈敏度X射線(xiàn)熒光光譜儀的市場(chǎng)，具有廣闊的市場(chǎng)前景。