在波長(cháng)色散X射線(xiàn)熒光光譜儀在金屬元素的測定分析已經(jīng)是應用非常的成熟具有典型的用戶(hù)及實(shí)驗配套方案。其中，在涂層方面的檢測也有很好的應用，如涂料紙上的涂料中有線(xiàn)狀異物，用CCD定點(diǎn)分析可以不破壞樣品得知其組成成分。CCD定點(diǎn)分析是利用儀器的內置CCD相機和樣品臺驅動(dòng)裝置，樣品表面任意位置，進(jìn)行定性或定量分析，這是X射線(xiàn)熒光光譜儀ZSX系列新添加的功能。另外，在此介紹如何使用樣品臺驅動(dòng)裝置對檢測出的組成成分進(jìn)行元素分布分析。

波長(cháng)色散X射線(xiàn)熒光光譜儀對涂層中元素的定點(diǎn)分析示例

操作部分

一、分析儀器

二、樣品制備

將涂層樣品直接放入托架待測。

三、測試條件

四、測試結果

儀器內置CCD相機拍攝的樣品表面圖象如下圖所示。根據圖象，可以確認在中央部位有線(xiàn)狀異物混雜在涂層中。

CCD合成圖象

首先線(xiàn)狀異物部分，空白的涂層部分及涂料紙，將分析面積設定在1mm范圍內進(jìn)行定性分析。由Cu-K可見(jiàn)很大的差別。然后，可確認涂層的成分是Ti和Fe，涂料紙的成分是Al,Si和Ca。

異物部分(蘭色)和涂層部分(紅色)的定性圖表

根據定性分析結果得到的成分組成進(jìn)行元素分布分析。由于進(jìn)行元素分布分析時(shí)使用樣品臺驅動(dòng)裝置，所以樣品可以直接移動(dòng)到分析點(diǎn)，能夠不改變與分辨率有關(guān)的光學(xué)系統進(jìn)行穩定的測試。根據元素分布分析結果推斷，樣品中混有銅絲。

根據各部分代表成分的元素分布圖象

五、總結

日本理學(xué)波長(cháng)色散型X射線(xiàn)熒光分析法和電子分析法不同，譜峰不受充電的影響，不需要特殊的樣品制備。另外，與電子分析相比，熒光X射線(xiàn)的穿透力強，可以分析厚涂層下的成分，在涂層應用提供用力的幫助，提高生產(chǎn)質(zhì)量，帶動(dòng)工廠(chǎng)利益的提升。