X射線(xiàn)熒光光譜儀是一種較新型可以對多元素進(jìn)行快速同時(shí)測定的儀器。就分類(lèi)而言，偏振式能量色散X熒光光譜儀ED(P)-XRF、波長(cháng)色散型(WD-XRF)X射線(xiàn)熒光光譜儀與能量色散型(ED-XRF)X射線(xiàn)熒光光譜儀同屬于X射線(xiàn)熒光光譜儀，它們產(chǎn)生信號的方法相同，最后得到的波譜或能譜也極為相似，但由于色散、采集數據的方式不同，三種儀器在原理、儀器結構和功能上也有所不同。

　　X射線(xiàn)熒光光譜儀主要由激發(fā)源（X射線(xiàn)管）和探測系統構成。其原理就是：X射線(xiàn)管通過(guò)產(chǎn)生入射X射線(xiàn)（一次X射線(xiàn)），來(lái)激發(fā)被測樣品。 受激發(fā)的樣品中的每一種元素會(huì )放射出二次X射線(xiàn)（又叫X熒光），并且不同的元素所放射出的二次X射線(xiàn)具有特定的能量特性或波長(cháng)特性。探測系統測量這些放射出來(lái)的二次X射線(xiàn)的能量及數量或者波長(cháng)。然后，儀器軟件將探測系統所收集到的信息轉換成樣品中各種元素的種類(lèi)及含量。

　　X射線(xiàn)熒光光譜儀分析的四個(gè)優(yōu)勢：

　?。?）熒光分析的主要特點(diǎn)是靈敏度高、選擇性好，熒光分析的靈敏度要比吸收光譜測量高2-3個(gè)數量級。分光光度法通常在 10-7 級，而熒光的靈敏度達10-9。

　?。?）強選擇性強，熒光物質(zhì)具有兩種特征光譜：激發(fā)光譜和吸收光譜，相對于分光光度法單一的吸收光譜來(lái)說(shuō)，熒光光譜可根據激發(fā)光譜和發(fā)射光譜來(lái)鑒定物質(zhì)。

　?。?）信息量豐富，能提供熒光物質(zhì)的多種參數。

　?。?）但是熒光分析方法也有其不足之處：①很多物質(zhì)本身不發(fā)熒光；②熒光的產(chǎn)生與化合物結構的關(guān)系不明確；③干擾因素多，光分解、氧淬滅、易污染。