X射線(xiàn)熒光光譜儀是用晶體分光而后由探測器接收經(jīng)過(guò)衍射的特征X射線(xiàn)信號。如果分光晶體和控測器作同步運動(dòng)，不斷地改變衍射角，便可獲得樣品內各種元素所產(chǎn)生的特征X射線(xiàn)的波長(cháng)及各個(gè)波長(cháng)X射線(xiàn)的強度，可以據此進(jìn)行定性和定量分析。

　　下面我們來(lái)看看常用的三款X射線(xiàn)熒光光譜儀的結構和功能方面的區別：

　　波長(cháng)色散型熒光光譜儀(WD-XRF)，一般由光源(X-射線(xiàn)管)、樣品室、分光晶體和檢測系統等組成。為了準確測量衍射光束與入射光束的夾角，分光晶體是安裝在一個(gè)精密的測角儀上，還需要一龐大而精密并復雜的機械運動(dòng)裝置。由于晶體的衍射，造成強度的損失，需要作為光源的X射線(xiàn)管的功率要大，一般為2～3千瓦。但X射線(xiàn)管的效率極低，只有1%的電功率轉化為X射線(xiàn)輻射功率，大部分電能均轉化為熱能產(chǎn)生高溫，所以X射線(xiàn)管需要專(zhuān)門(mén)的冷卻裝置(水冷或油冷)，這就使得儀器結構比較復雜，硬件成本高，因此波譜儀的價(jià)格比能譜儀要高的多。

　　普通能量色散型X-熒光光譜儀(ED-XRF)，一般由光源(X-射線(xiàn)管)、濾光片、樣品室和檢測系統等組成，與波長(cháng)色散型X熒光光譜儀(WD-XRF)的區別在于它不用分光晶體，機構比較簡(jiǎn)單，價(jià)位比較低，但輕元素的檢出限較高。

　　偏振式能量色散X射線(xiàn)熒光光譜儀ED(P)-XRF，不采用濾光片，而采用偏振次級靶，其它與普通能量色散X熒光光譜儀(ED-XRF)相似，結構也比較簡(jiǎn)單，價(jià)位也遠低于波長(cháng)色散型熒光光譜儀(WD-XRF)，但在輕元素的檢出限方面接近波長(cháng)色散型熒光光譜儀(WD-XRF)。