波長(cháng)型X射線(xiàn)熒光光譜儀采用高性能硅漂移探測器SDD,能量分辨率低到135eV，可定義測量幾乎所有元素譜線(xiàn)，可分析多種元素多成分物質(zhì)，比如高合金鋼，精密合金，多金屬礦石等。

　　波長(cháng)型X射線(xiàn)熒光光譜儀簡(jiǎn)單，相互干擾少，樣品不必分離，分析方法比較簡(jiǎn)便，分析濃度范圍較寬,從常量到微量都可分析。重元素的檢測限可達ppm量級，輕元素稍差，分析樣品不被破壞，分析快速，準確，便于自動(dòng)化。

　　波長(cháng)型X射線(xiàn)熒光光譜儀的性能好壞如何判斷呢？可從以下四個(gè)方面去考慮。

　　1、波長(cháng)范圍。波長(cháng)范圍是X熒光光譜儀所能測量的波長(cháng)區間。使用新型探測器可以使之前的范圍拓展一些距離，即覆蓋紫外、可見(jiàn)和近紅外波段。光柵的類(lèi)型以及探測器的類(lèi)型會(huì )影響波長(cháng)范圍。

　　2、波長(cháng)分辨率。波長(cháng)分辨率描述了光譜儀能夠分辨波長(cháng)的能力，波長(cháng)分辨率與波長(cháng)的取樣間隔是兩個(gè)不一樣的概念。高的波長(cháng)分辨率意味著(zhù)窄額度波長(cháng)范圍

　　3、噪聲等效功率和動(dòng)態(tài)范圍。當信號的值與噪聲的值相當的時(shí)候，從噪聲中分辨信號就會(huì )困難。一般用與噪聲相當的信號的值來(lái)表征能一個(gè)光譜儀所能夠測量的弱的光強。噪聲等效功率越小，光譜儀就可以測量弱的信號。

　　4、敏度與信噪比。敏度描述了X熒光光譜儀把光信號變成電子學(xué)信號的能力，高的敏度減小電路本身的噪聲對結果影響。狹縫的寬度、光柵的類(lèi)型、探測器的類(lèi)型以及電路的參數都會(huì )影響敏度。人為地調高前置放大電數也會(huì )提高名義上的敏度，但并不實(shí)際的測量。